盒式硅舟又叫cassette boat,是一种小型一体式硅舟,主要应用在4寸到6寸卧式高温炉,适用于1250℃以下制程。
技术优势

硅舟材质为高纯硅产料,不存在表面沉积层,长期使用不会出现变形及表面材料脱落问题;

可长期保证硅舟不会出现本体污染;

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