金沙娱app下载安装SiFusion硅产品硅舟Si boat
采用独家Si-Fusion专利,可实现硅与硅之间的熔接,各部件熔接形成的硅舟可应用在1100-1200℃的高温处理工艺和CVD-Poly沉积工艺。
技术优势

1.可进行硅舟结构的定制化设计,包括沟棒形状,沟齿长度、形状、倾斜角度,以及硅舟的总载片量。


2.高温硅舟可以有效减少硅片的接触损伤,提升制程良率。


3.熔接硅舟可以对损坏部件进行更换,降低持有成本。


4.硅舟拥有较大的多晶硅沉积上限,可以有效减少设备PM频率,提升产能。

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