金沙娱app下载安装SiFusion产品喷淋头Showerhead
Showerhead,应用于半导体集成电路制程刻蚀设备中,在晶圆制造刻蚀环节,作为附加电压的电极,还作为是刻蚀气体进入腔体的通路,是晶圆制造刻蚀环节所必需的核心部件。
技术优势

1.原料自制品质可控,具有成熟的加工和清洗技术,可以满足客户不同的表面状态需求。

2. 气孔内壁加工后无破碎层。

3.最小加工孔径为0.2mm。

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